スッパタ法によるSi添加SiO_2薄膜の可視光発光
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概要
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RF同時スパッタ法によりSi添加SiO_2薄膜を作製し、熱処理を行うことにより可視領域発光に成功した。熱処理後の試料にナノメーターサイズのSi微粒子が観測されたことから発光はSi微粒子によるものと考えられる。また、熱処理が発光波長に及ぼす影響を調べるため熱処理条件を変化させフォトルミネッセンス(PL)スペクトルを測定したところ、熱処理温度が高くなるにつれPLピーク波長がレッドシフトした。PLピーク波長のレッドシフトは、熱によりSi微粒子の粒径が増加したためと考えられる。以上のことから発光はSi微粒子の量子サイズ効果により説明できる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-12-10
著者
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