カーボンナノチューブ単電子トランジスタの高温動作に向けて(機能ナノデバイスとおよび関連技術)
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概要
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単層カーボンナノチューブは単電子トランジスタの構成材料として極めて有望な材料である。我々はカーボンナノチューブ単電子トランジスタの室温動作に向けて、動作温度の向上を図っている。その温度特性は、クーロンアイランドを形成するバリアの特性が大きな決定要因となっている。本報告では我々の高温動作に向けてのアプローチとして、有機高分子によるバリア特性を改善する手法と、イオンビーム照射によって導入される部分的な高抵抗部をバリアに用いる手法について報告する。現在のところ、これらの手法によってそれぞれ80Kおよび120Kでの動作を確認している。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-01-23
著者
-
矢島 博文
東京理科大学理学部
-
森 貴洋
理研
-
石橋 幸治
理化学研究所半導体工学研究室
-
石橋 幸治
(独)理化学研究所 石橋極微デバイス工学研究室
-
石橋 幸治
理化学研究所石橋極微デバイス工学研究室
-
石橋 幸治
理化学研究所
-
大村 一夫
理化学研究所:東京理科大学理学部
-
矢島 博文
東京理科大
-
佐藤 俊介
理化学研究所:東京理科大学理学部
-
内田 勝美
東京理科大学理学部
-
森 貴洋
理化学研究所
-
内田 勝美
東京理科大学
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