安定で湿度応答特性のよい金属酸化物-ゼオライト薄膜
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概要
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Metal-oxide thin films such as CuO, NiO and Fe_2O_3 containing compund Zeolite fabricated by co-evaporation show comparatively low resistance values and exhibit quick humidity responsibility, stability and reproducibility. In this paper, the fabrication method and Zeolite concentration in the film having good humidity characteristics are described. Film resistance in a dried atmosphere reaches stable in a several tens second in a humid atmosphere. To confirm stability, a hundreds times experiment from dried desiccator to hygrostat of 80% RH was carried out. The results of the XPS analysis suggest that the concentration gradient within the CuO-Zeolite film is a very important factor for fabricating such films with good humidity characteristics.
- 2006-09-30
著者
-
藤本 英昭
近畿大学理工学部
-
児玉 淳一
近畿大学理工学部電気電子工学科
-
藤本 英昭
近畿大学電気電子工学科
-
荻野 邦彦
近畿大学理工学部機械工学科
-
藤本 英昭
近畿大学理工学部電気電子工学科
-
萩野 邦彦
近畿大学理工学部機械工学科
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