CuO,NiO-Zeolite蒸着膜の感湿特性
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概要
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さきに蒸着法によって酸化Ni中にゼオライトを種々の混合比で加えた膜を作製し、ゼオライト10Vt.%以上の膜では感湿特性も向上し,20Vt.%までの膜にはクラックも入らず感湿特性も比較的に良好なものが得られることを報告した。しかしながらこれまでに本来の多孔質結晶ゼオライトの感湿特性の測定を行っていなかったので今回厚膜形多孔質ゼオライト皮膜をガラス基板上に作製し、その感湿特性ならびに抵抗値の周波数依存性について測定した。つぎにNiO-ゼオライトの感湿膜の下画に縞状電極を付ける実験を行ったところ,感湿特性に悪影響を及ぼすことなく素子抵抗値を下げ得ることが分かった。またNiOの代わりにCuOを用いても比較的に低抵抗で感湿特性の良い膜が作製出来ることを確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-03-27
著者
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