分布RC High pass filterのトリミング
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概要
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これまでにNi-Siアモルファス薄膜を用いた各種多層分布RC線路を作製してきたが, 実際にフィルターを作成してみるとなかなか所望の周波数特性を有するものを得ることが難しいので, 作成後のフィルターの周波数調整を行う技法を開発する必要性が痛感された。この問題を解決するためにtrimmingや製膜による遮断周波数の調整方法を考え, その実験とシミュレーションを行った。集中定数素子と分布定数素子が混在するHigh pass filterのシミュレーションを行ったところ, この場合には集中定数素子をtrimmingする方が分布定数素子をtrimmingするより周波数特性の良い結果が得られることが分かった。今回はその実験結果とシミュレーション結果について報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-06
著者
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