CuO-Zeolite薄膜の感湿特性-II
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
さきにNiO-ゼオライトの感湿膜の下面に縞状電極を付けることによってセンサー抵抗値亀を低下出来ることをQメータを用いた測定方法によって確認した。Qメータによる方法は周波数も比較的に高く、時間がかかるので過度応答の測定には不向きであった。そこで今回は正弦波発信器とディジタル・マルチメータとパソコンを用いたセンサー抵抗測定装置を作製し、測定試料の抵抗値の周波数依存性・印可電圧依存性・過度応答特性等を測定した。さらに2種類の櫛形電極を作製し、それがZeolite単体の塗布膜およびCuO-Zeoliteセンサー膜の抵抗値に及ぼす効果について検討した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
著者
関連論文
- アモルファスCu-Si薄膜の作製
- Ni系アモルファス合金薄膜の作製
- 安定で湿度応答特性のよい金属酸化物-ゼオライト薄膜
- CuO-Zeolite薄膜の感湿特性-II
- 分布RC定数線路のトリミング
- 分布RC活性フィルタの実用的設計
- 分布RC線路を用いた低域通過能動フィルタの実現
- 分布RC定数線路のトリミング-II
- アモルファス薄膜抵抗を用いた分布RC定数回路の作製-II
- 分布RC線路を用いた低域通過能動フィルタについて
- 容量性2層分布RC線路を用いた高域通過能動フィルターについて
- Ni-Siアモルファス合金薄膜のキャラクタリゼーション
- 分布RC High pass filterのトリミング
- 分布RC Low pass filterのトリミング
- CuO,NiO-Zeolite蒸着膜の感湿特性
- 非晶質Ni-Cr-Si合金薄膜の熱処理
- 抵抗温度係数の小さいNi-Si2元合金薄膜