石英系熱光学光スイッチの高性能化の研究 : ダイヤフラム構造及び熱音響現象(一般・音波物性)
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概要
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石英系熱光学光スイッチの高性能化を目的として、低消費電力と高速動作を実現するための方法について検討した。低消費電力化と高速化のためには、石英系平面光波回路のコア部上部に設けられたヒーター電極と対向するクラッドの裏面にヒーター電極幅に相当するシリコンダイヤフラムを形成した構造となることを有限要素法で確認した。石英系熱光学光スイッチの超高速化を実現するには、熱光学現象により発生した温度勾配に超音波振動を重畳させた熱音響現象を利用することで、スイッチング速度が8.3nsに達する可能性があることがわかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-10-12
著者
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