水晶振動子の基本波単一振動と高耐熱性についての考察

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概要

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水晶の厚み振動を利用したエネルギー閉じ込め形共振子で、中心部に浮き電極を設けその周辺部を囲むように電極を配置するような電極構造とすることにより、高調波振動モードを抑圧した基本波単一振動を確認した。この水晶振動子は非高調波振動モードの抑圧に対しても効果的である。一方、水晶振動子の経時特性や環境変止に優れた性能を実現する方法として、通常のNi+Ag電極構造のUMタイプ水晶振動子を検討した。外的ストレスに対して高性能化を実現する方法として、電極形成法と水晶板の保持構造を工夫することで、360℃30秒の熱ストレスに対し0.5ppm以下の周波数変動の極めて少ない水晶振動子が得られた。この水晶振動子は高耐熱性を有することから、実装ボードに直接半田付けできるUMタイプ表面実装型水晶振動子の実現の見通しを得た。
社団法人電子情報通信学会の論文
1999-02-12

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