ボンド法による水晶高精度角度測定法の研究

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概要

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ボンド法による水晶素板の高精度角度測定法に関し検討している。ボンド法では、試料水晶を面内回転0゜、180゜の2測定で、回折条件を満たすω角度を測定することで、-35℃〜+85℃の広い温度範囲で1ppm以内に水晶素板の製造偏差を抑えるには、あおり角を9,3′以内にすることが必要であることを示した。非接触で水晶素板を支持しようとする利点は、測定対象である水晶素板の固定時の応力で格子定数が変化しないように出来ることと、吸着チャックと試料との間のチップのカケ、ゴミ等で不要物が排除できることを指摘した。特に、超音波浮遊よりも、静電力の方が、適していることを指摘し、静電浮上を利用したX線検査システムを提案している。
社団法人電子情報通信学会の論文
2001-04-10

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