大型水晶ブランクの高速移動処理方法の検討

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概要

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移動体通信分野や光通信分野で爆発的に使用される水晶振動子の量産化と生産効率を向上させるために、半導体ウエハと同じように、水晶ブランクサイズも大きくする傾向にある。大型化した水晶ブランクを、製造工程の中で安全に高速移動する必要がある。この解決策として、大型化水晶ブランクをカプセルに収納し、このカプセルが各種処理部が付設する特殊構造のねじれ軌道内を通過したときに、カプセル内の水晶ブランクを高速処理する方法を検討している。切断後の水晶ブランクのX線ゴニオメータによる角度測定工程、Lapping & Polishing後の外観検査工程やPatterning後の欠陥検査工程に、この高速移動処理システムが適用できる。経済的な面から、オンラインでの管理損失がCCD画像センサの分解能に依存していることを述べる。
社団法人電子情報通信学会の論文
2001-01-19

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