マルチワイヤソーにおける超音波振動を利用した水晶切断条件の最適化

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概要

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双方向性マルチワイヤソーの加工精度を決定する要因は、ワーク押上速度、ワイヤ走行速度, ワイヤーテンション、切断部へのスラリー供給、スラリーの研削能力等数多く存在する。ここでは、切断時に供給するスラリー中にメガソニック波を放射し切断ワークである水晶に砥粒再生しながら供給することと、スラリー貯留槽ごと切断することで、ソーマークの無い良好な水晶カットウェハを得ることが出来た。
社団法人電子情報通信学会の論文
2001-09-19

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