水晶LSTカットを伝播する漏洩弾性表面波の特性改善に関する検討

スポンサーリンク

概要

論文の詳細を見る
水晶LSTカットは発見された当初、その優れた三次の温度係数を持つことから、高周波におけるバルク波水晶並みの高安定SAWデバイスを実現できると期待されていた。しかしながら、その後の研究で、中心周波数の温度特性は電極膜厚の影響を受けることと伝播損失に温度依存性をもつことが明らかになり、現在使用されていない。伝播損失は、電極膜厚の影響を考慮しなければ、カット角度を選択することでレイリー波並みの実用レベルに変動量を抑えることができる。解決すべき技術的課題は、漏洩弾性表面波の電極膜厚の問題である。ここでは漏洩弾性表面波の電極膜厚依存性を解決する方法として、IDTを空間的に形成し漏洩弾性表面波を励振する方法を検討している。
社団法人電子情報通信学会の論文
2001-09-19

著者

関連論文

もっと見る

スポンサーリンク