ワイヤソーによる水晶切断加工技術の研究

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概要

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ランバード加工人工水晶を遊離砥粒による研削方式であるワイヤソーによる切断直後のウェハは、できるだけ平行度がゼロで、かつ最終製品に影響するウェハに反りが無いことが望まれる。ここでは、高精度加工を実現するための諸条件について検討した。一方向走行は、砥粒粒径に依存するが、ワイヤ走行速度を800〜1350m/分の高速走行させながら、ワーク押上速度もそれと同期した状態でおこなうことで、反りと平行度をゼロに近づけうることがわかった。スライシング技術における各種品質項目を検討し、一方向性ワイヤソーのその優れた性能を確認した。
社団法人電子情報通信学会の論文
2001-01-19

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