水晶LSTカットのスライシング加工に関する量産技術の確立
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
水晶LSTカットの16.2゜(-73.8゜)をZ面でのBraggアングルの角度測定で、10"以下の高精度の切断角度を実現するために、面指数(015^^-)を使用することを提案している。これまで切断途中で問題となるウェハ先端部の接触現象をスラリー液の架橋モデルで説明している。双方向性マルチワイヤソーの基本的動作欠陥を解決するために、スラリー槽にワーク全体を収納しスラリー槽内のワークごと切断することで、ソーマークの無い良好な水晶LSTカットウェハ(アスペクト比=800以上)の量産化の見通しを得た。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-10-26
著者
関連論文
- 移動体通信網におけるSAW Chirp Convolverの技術的進歩(物性,一般)
- SAWエラスティックコンボルバ : Communications and Satellite Navigation Systems(物性,一般)
- SAW Chirp-Z変換のOFDMシステムへの適用
- OFDMシステムのための最適化SAW Chirp-Z変換
- 水晶LSTカットのスライシング加工に関する量産技術の確立
- マルチワイヤソーにおける超音波振動を利用した水晶切断条件の最適化
- 水晶LSTカットを伝播する漏洩弾性表面波の特性改善に関する検討
- 新しいUV硬化接着剤の水晶切断工程での検討
- ボンド法による水晶高精度角度測定法の研究
- 大型水晶ブランクの高速移動処理方法の検討
- ワイヤソーによる水晶切断加工技術の研究
- 大型水晶ブランクの高速移動処理方法の検討
- ワイヤソーによる水晶切断加工技術の研究
- AT-cut水晶板の高速Etching加工による量産化
- 水晶振動子の基本波単一振動と高耐熱性についての考察
- 拡散接合水晶 : 基本波100MHz以上の水晶研磨法とパッケージレス水晶振動子の実現
- 拡散接合水晶 : 基本波100MHz以上の水晶研磨法とパッケージレス水晶振動子の実現
- 拡散接合水晶 : 基本波100MHz以上の水晶研磨法とパッケージレス水晶振動子の実現
- 拡散接合水晶 : 基本波100MHz以上の水晶研磨法とパッケージレス水晶振動子の実現
- 石英系熱光学光スイッチの高性能化の研究 : ダイヤフラム構造及び熱音響現象(一般・音波物性)