AT-cut水晶板の高速Etching加工による量産化
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概要
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At-cut水晶板のエッチング速度を、水晶の成長速度よりも早くすることで、Etch PitsとEtch Channelsが発生しない現象を発見した。高速Etchingで、現行の水晶板のLappingからPolishingまでを、4分以内で処理することを検討した。Mirror表面が可能な条件として、投入前の水晶板の汚染を除去するUltra-Clean洗浄方法が、特に重要な要素であることを示した。この高速Etching方法で切断後の#2000仕上げの水晶板を多量にBatch処理するための製造プロセスを示し、量産化を可能にした。高速Etching加工方法は、高周波帯で使用される水晶板製作にも適用されている。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-09-12
著者
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