究極の水晶振動子へのアプローチ

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概要

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水晶振動子は、エレクトロ・メカニカル部品の代表であり、機械エネルギーで蓄積する系の方が電気エネルギーで蓄積する系より10^4程度大きいことから、デバイスの超小型化の潜在的可能性をもった系である。厚みすべり振動を利用したAT-cut水晶板のサイズは、Beckmann定数から水晶板厚の約10倍と算出した。究極の水晶振動子を実現する方法として、任意のカットアングルの水晶板上にホモエピタキシャル成長水晶薄膜の完全結晶を形成した。このホモエピタキシャル水晶薄膜に、スプリアスの発生しない電極設計、製造プロセス全般について検討している。
2006-12-08

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