熱光学スイッチ/水晶振動子におけるシリコンウェハの重要性 : 128×128マトリックス光スイッチ/セラミックPKGシートの置き換え
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概要
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光電子部品は、半導体製造技術を基本に作製される。特に光デバイスや水晶振動子においても材料面で大口径シリコンウェハを使用することの重要性は、精密工学的にもコスト面でもはかりしれないメリットがある。今回、Siサイズ200mm×140mmに128×128マトリックス熱光学光スイッチの実現性と現在実用化されているシート方式でのセラミックPKGの置き換えを目標にФ300mmシリコンウェハ内に実装面積1mm^2以下の水晶振動子や水晶発振器の適用の可能性を検討した。
- 2007-06-22
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