原子間力顕微鏡のカンチレバーを用いた摩耗試験(S51-4 トライボロジーの基礎と応用(IV),S51 トライボロジーの基礎と応用)
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概要
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We estimated the wear volume on the scanning microprobe of an atomic force microscope (AFM) by using images obtained with a high-powered scanning electric microscope (SEM). The wear is due to contact between the pin of the microprobe and the test chip. Before and after the wear test, we took images of the scanning probe using the SEM. We used an image processing and analysis program to measure the wear volume from previous images. We also calculated the specific wear volume on the scanning microprobe from the wear volume, and found that it increases proportionally with the scanning speed.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2004-09-04
著者
-
藤森 正成
日立製作所基礎研究所
-
石橋 雅義
日立製作所基礎研究所
-
平家 誠嗣
日立製作所基礎研究所
-
平家 誠嗣
株式会社日立製作所基礎研究所
-
石橋 雅義
日立製作所 基礎研究所
-
早川 純
日立製作所基礎研究所
-
早川 純
日立製作所 基礎研究所
-
石井 美恵子
日立製作所 基礎研究所
-
原田 武
日立製作所 基礎研究所
-
藤森 正成
日立中研
-
原田 武
株式会社日立製作所基礎研究所
-
原田 武
日立製作所
-
石井 美恵子
株式会社日立製作所機械研究所
-
平家 誠嗣
日立中研
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