5205 原子間力顕微鏡のカンチレバーを用いた摩耗試験(第3報)(S65-2 摩耗,S65 トライボロジーの基礎と応用)
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概要
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The wear of the scanning probe in an atomic force microscope (AFM) needs to be suppressed. We proposed an analysis technique for nm-scale wear volume using high-resolution scanning electron microscope (SEM) images of a microprobe before and after wear tests. In this report, we compare the material of scanning microprobes under a small contact weight. After the wear test, the specific wear volume of a prototype Pt-probe became significantly smaller than other probes. It shows that the hardness of the materials is Pt>Si≧Au. Also, the coating film of the probe had significantly increased wear when it was peeled.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2006-09-15
著者
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