半導体InP系コーナー導波路
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概要
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今回我々は光路を鋭く変化するInP/GaInAsP系コーナー導波路をコーナー部パターンを工夫し、MORIBE法にて垂直且つ側面モフォロジの良いコーナーミラー面を形成する事により、低反射損失特性が得られたので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
著者
-
清水 健男
古河電気工業株式会社waプロジェクトチーム
-
麦野 明
古河電気工業(株)WA-プロジェクトチーム
-
柳川 久治
古河電気工業(株)光技術研究所
-
小沢 章一
古河電気工業株式会社 光技術研究所
-
清水 健男
古河電気工業研究所
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清水 健男
古河電気工業株式会社
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清水 健男
古河電気工業
-
麦野 明
古河電気工業株式会社waプロジェクトチーム
-
麦野 明
古河電気工業 横浜研
-
柳川 久治
古河電気工業
-
麦野 明
古河電気工業株式会社光技術研究所
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