石英導波路の無調芯ファイバ接続技術の開発

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概要

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従来の光導波路と光ファイバとの接続方法は、両者を直接軸調芯し、最大結合状態を探しだしていた。しかし、この方法では3次元での高価な軸合わせ機構が必要であり、また、調芯にも多くの時間を費やしていた。そこで、近年、低コスト化、量産性を考慮し光導波路と光ファイバとを無調芯にて接続するために導波路基板上に形成したガイド溝とファイバアレイとをピン嵌合にて行うことが試みられている。そこで今回、この要素技術であるガイド溝作製技術と、ガイド溝の位置精度についての検討を行ったので報告する。
社団法人電子情報通信学会の論文
1995-03-27

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