双方向通信光モジュール用PLCプラットフオーム
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概要
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加入者系双方向光伝送システムの実現を目指し、高性能かつ低価格の光端末機器を構成するキーデバイスとして、シリコン基板上に形成した石英系平面光波回路(PLC)を用いたハイブリッド光集積回路技術がNTTを中心に開発が進められ注目されている。ONU用PLCプラットフオームは、シリコン基板に段差を設けてシリコンテラス面とガラス化面を複合形成し、石英上に光導波回路を作製し、テラス上に光素子を無調心で表面実装できる電極形成部を作製した光集積回路基板となるものである。本報告では、プラットフオーム形成プロセスについて述べるとともに、PLCに形成したフイルタ反射型WDMを中心に加工トレランスの検討結果と、PLCプラットフオームとしての特性について述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-02-06
著者
-
中村 史朗
古河電気工業株式会社
-
小沢 章一
古河電気工業株式会社 光技術研究所
-
渡辺 智浩
古河電工(株) 光技術研究所
-
中村 史朗
古河電工(株) 光技術研究所
-
小沢 章一
古河電工(株) 光技術研究所
-
渡辺 万記
古河電工(株) 光技術研究所
-
渡辺 智浩
古河電気工業株式会社ファイテル製品事業部
-
渡辺 万記
古河電工(株)光技術研究所
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