シリコン基板上に作製した薄膜リアクトルの基礎特性とそのDC-DCコンバータへの応用
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概要
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ICプロセス技術を用いて,厚膜導体と磁性薄膜の積層構成によるモノリシック薄膜リアクトルをシリコン基板上に作製し,その基礎特性を明らかにすると共に,DC-DCコンバータに応用した場合の動作特性について評価を行う.試作薄膜リアクトルを用いたDC-DCコンバータでは,出力は2W以上で効率が70%以上と実用可能な値となることを明らかにしている.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-06-25
著者
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