高抵抗Fe(Co-Fe)-Hf-O薄膜積層インダタタを用いたマイクロDC-DCコンバータの動作特性
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概要
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本稿では、高抵抗Fe(Co-Fe)-Hf-O薄膜を用いた積層インダクタの基礎特性とぞれを搭載したマイクロDC-DCコンバータの動作特性を述べる。Fe(Co-Fe)-Hf-O薄膜は高い電気抵抗を有するため100MHz以上の高周波でも損失が低い。Co_<44>Fe_<19>Hf_<15>O_<22>薄膜を用いだ積層インダクタのQ値は5MHzにおいて12.3であリ、マイクロDC-DCコンバーダ動作特性として5MHzにおいて出力0.19W〜0.42W、効率81%が得られた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-11-07
著者
-
佐藤 敏郎
信州大学工学部
-
山沢 清人
信州大学工学部
-
佐々木 義人
アルプス電気(株)
-
畑内 隆史
アルプス電気(株)
-
牧野 彰宏
アルプス電気(株)
-
佐々木 義人
アルプス電気
-
畑内 隆史
アルプス電気
-
畑内 隆史
アルプス電気(株)中央研究所
-
牧野 彰宏
東北大学
-
牧野 彰宏
アルプス電気
-
森田 澄人
アルプス電気(株)
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