127 高抵抗軟磁性膜を用いた DC-DC コンバータ用薄膜インダクタの開発
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概要
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This paper describes thin film inductor using nano-crystalline Fe-Zr-O thin film. Nano-crystalline Fe-Zr-O film has a low loss at a high frequency because of its high electrical resistivity, ρ of 1000μ Ωcm. Furthermore, Fe-Zr-O has good soft magnetic properties, which are 46A/m of coercive force, Hc, 1000 of permeability, μ', 1.24T of saturation magnetization, Is. It is possible to keep eddy current loss down up to MHz range to use nano-crystalline Fe-Zr-O thin film. Therefore, the thin film inductor using nano-crystalline Fe-Zr-O thin film shows high quality factor, Q over 8 at MHz range. DC-DC converter using thin film inductor exhibits high efficiency, η of 80% in the buck converter.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2000-03-24
著者
-
佐藤 敏郎
信州大学スピンデバイステクノロジーセンター
-
佐藤 敏郎
信州大学工学部
-
山沢 清人
信州大学工学部
-
佐々木 義人
アルプス電気(株)
-
畑内 隆史
アルプス電気(株)
-
佐々木 義人
アルプス電気
-
佐藤 敏郎
信州大学
-
畑内 隆史
アルプス電気
-
畑内 隆史
アルプス電気(株)中央研究所
-
駒井 栄一
アルプス電気
-
山沢 清人
信州大学
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