AlN上に形成された厚膜導体の高周波伝送損特性に対するガラス滞留層の影響について
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概要
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高熱伝導, 高絶縁性を有する, AlNセラミックス基板上に形成した厚膜配線導体の高周波伝送損特性を測定し, 厚膜配線導体の膜質と伝送損の関係について明らかにした.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-10-25
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