任意角度辺を含むLSIマスクパターンのリサイジング手法
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概要
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リサイジング演算は, 図形の拡大や縮小を行うための図形演算である。ICのマスクパターンを構成する図形の多くはx軸若しくはy軸に平行な辺で囲まれた閉領域であるが, 高集積化や回路特性の向上の目的から, 斜めの辺を部分的に用いることがある。このようなマスクパターンのリサイジング処理のために, 任意角度の辺からなる図形群を, 頂点数Nに対してO(NlogN)の時間計算量で処理するリサイジング手法を提案する。本手法では, 入力図形から仮図形と呼ぶ中間的な頂点列を生成し, この仮図形をOR演算することにより出力図形を得る。本手法の特徴は, 仮図形の採用により, アルゴリズムの簡単化と高速化を図った点にある。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-01-25
著者
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