蒸着法による石英PLCチップ成膜の検討
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
近年火炎堆積法等により製造される光通信用の石英PLCデバイスの実用化はめざましいものがある。火炎堆積法は、SiO2粉末を基板の上に堆積させ、1000℃以上の熱処理により溶融してガラス化する方法のため、光導波路に強い応力が残り偏波依存性が大きくなる危険性がある。このためコア部のみをイオンビームアシスト蒸着法により成膜した例はすでに報告されているが、まだ上部クラッドまで蒸着法により形成した例は報告されていない。今回我々は下部クラッドから上部クラッドまでをイオンビームアシスト蒸着法により形成し埋め込み石英PLCチップを製造する方法に成功したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-08-28
著者
-
松本 浩
東洋通信機株式会社中央研究所
-
田中 啓之
東洋通信機株式会社中央研究所
-
藤井 陽一
日本大学理工学部電子工学科
-
松村 文雄
東洋通信機株式会社 中央研究所
-
中仙道 和之
東洋通信機株式会社中央研究所
-
藤井 陽一
日本大学 理工学部
-
藤井 陽一
日本大学理学部
関連論文
- B-13-5 ディジタルソリトンの提案
- B-13-24 ディジタル発光型心電計
- B-13-22 ディジタル発光型心電計
- ディジタル発光型心電計
- ディジタル発光型心電計
- B-13-6 ディジタル発光型心電計
- ディジタル発光型心電計
- B-13-11 発光型生体光電位センサ
- 発光型生体光電位センサ
- 誘電体多層膜の最適化設計と試作結果
- 蒸着法による石英PLCチップ成膜の検討
- 蒸着法による石英PLCチップ成膜の検討
- 蒸着法による石英PLCチップ成膜の検討
- 蒸着法による石英PLCチップ成膜の検討
- 誘電体多層膜の最適化設計の検討
- IADによる光フィルタの試作
- 石英PLCカプラSiO_2成膜の検討
- 石英PLCチップSiO_2成膜プロセスの検討
- 石英PLCカプラの開発
- 石英PLCカプラの開発
- 石英PLCカプラの開発
- 石英PLCカプラの開発
- 石英 PLC モジュールの設計
- 石英PLCモジュール設計の検討
- 石英PLCカプラ経済化の検討
- 石英PLCカプラの高性能化と経済化の設計の検討
- 石英光導波路の低温プロセス化と経済化の検討
- TEOS低温プラズマCVDによる石英PLCカプラの開発
- TEOS低温プラズマCVDによる石英PLCカプラの開発
- フィルタモデルによるラマン効果を考慮した光ファイバソリトン伝搬時間解析(次世代伝送用光ファイバ,機能性光ファイバ,フォトニック結晶ファイバ,ファイバ非線形現象,一般)
- フィルタモデルによるラマン効果を考慮した光ファイバソリトン伝搬時間解析(次世代伝送用光ファイバ,機能性光ファイバ,フォトニック結晶ファイバ,ファイバ非線形現象,一般)
- 逆ラプラス変換による光ファイバソリトン伝搬の時間領域解析(次世代光ファイバ,機能性光ファイバ,フォトニック結晶ファイバ,光計測,光伝搬,光信号処理,一般)
- 逆ラプラス変換による光ファイバソリトン伝搬の時間領域解析(次世代光ファイバ,機能性光ファイバ,フォトニック結晶ファイバ,光計測,光伝搬,光信号処理,一般)
- B-13-27 赤外波長光源を用いたニオブ酸リチウム光導波路の光損傷測定(B-13. 光ファイバ応用技術)
- MgO ドーププロトン交換 LN 光導波路の光損傷における温度及び電界特性の検討
- 全光電子型ディジタル電力量計に関する検討とその応用
- 全光電子型ディジタル電力量計に関する検討とその応用(フォトニックNW・デバイス, フォトニック結晶・ファイバとその応用, 光集積回路, 光導波路素子, 光スイッチング, 導波路解析, 及び一般)
- 全光電子型ディジタル電力量計に関する検討とその応用(フォトニックNW・デバイス, フォトニック結晶・ファイバとその応用, 光集積回路, 光導波路素子, 光スイッチング, 導波路解析, 及び一般)
- 全光電子型ディジタル電力量計に関する検討とその応用(フォトニックNW・デバイス, フォトニック結晶・ファイバとその応用, 光集積回路, 光導波路素子, 光スイッチング, 導波路解析, 及び一般)
- 全光電子型ディジタル電力量計に関する検討とその応用(フォトニックNW・デバイス, フォトニック結晶・ファイバとその応用, 光集積回路, 光導波路素子, 光スイッチング, 導波路解析, 及び一般)
- 全光電子型ディジタル電力量計(光センサ, 一般)
- B-13-16 全光電子型ディジタル電力量計に関する研究(B-13. 光ファイバ応用技術, 通信2)
- 全光電子型ディジタル電力量計(センサ,一般)
- B-13-26 全光電子型ディジタル積算電力計(B-13. 光ファイバ応用技術)
- 青色LED・閃光パルスによる光殺菌効率測定
- 青色LED・閃光パルスによる光殺菌効率測定
- 青色LED・閃光パルスによる光殺菌効率測定
- 青色LED・閃光パルスによる光殺菌効率測定
- C-3-29 DWDM用誘電体光フィルタ設計の検討
- 石英PLC回路設計基礎技術の検討
- MgOドーププロトン交換LN光導波路の光損傷における温度及び電界特性の検討(次世代伝送用ファイバ,機能性光ファイバ,フォトニック結晶ファイバ,ファイバ非線形現象,一般)
- MgOドーププロトン交換LN光導波路の光損傷における温度及び電界特性の検討
- B-13-28 MgOドーププロトン交換LN光導波路の光損傷における温度及び電界特性の検討(B-13.光ファイバ応用技術,一般講演)
- B-13-20 FBGを使用したボロメータ(B-13.光ファイバ応用技術, 通信2)
- B-13-16 フィルタモデルによるラマン効果を考慮した光ファイバソリトン伝搬時間解析(B-13.光ファイバ応用技術, 通信2)
- B-13-26 フィルタモデルによるラマン効果を考慮した光ファイバソリトン伝搬時間解析(B-13. 光ファイバ応用技術, 通信2)
- B-13-25 交差位相変調のソリトン伝搬に対する影響(B-13. 光ファイバ応用技術, 通信2)
- B-13-11 MgOドーププロトン交換LN光導波路の光損傷における温度及び電界特性の検討(B-13. 光ファイバ応用技術, 通信2)
- FBGを使用したボロメータ(光集積回路/素子, スイッチング, PLC, ファイバ型デバイス, 導波路解析, 一般)
- FBGを使用したボロメータ(光集積回路/素子, スイッチング, PLC, ファイバ型デバイス, 導波路解析, 一般)
- 赤外波長光源を用いたMgOドーププロトン交換LN光導波路の光損傷測定
- 赤外波長光源を用いたMgOドーププロトン交換LN光導波路の光損傷測定(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,集積光回路,半導体光導波路素子,PLC,ファイバ型デバイス,導波路解析,その他)
- 赤外波長光源を用いたMgOドーププロトン交換LN光導波路の光損傷測定(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,集積光回路,半導体光導波路素子,PLC,ファイバ型デバイス,導波路解析,その他)
- 赤外波長光源を用いたMgOドーププロトン交換LN光導波路の光損傷測定(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,集積光回路,半導体光導波路素子,PLC,ファイバ型デバイス,導波路解析,その他)
- 赤外波長光源を用いたMgOドーププロトン交換LN光導波路の光損傷測定(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,集積光回路,半導体光導波路素子,PLC,ファイバ型デバイス,導波路解析,その他)
- MgOドーププロトン交換LN光導波路の光損傷における温度特性の検討(センサ,一般)
- B-13-24 MgOドーププロトン交換LN光導波路における光損傷の波長特性
- MgOドーププロトン交換LN光導波路のフォトリフラクティブ効果
- B-13-6 MgO ドープ LN 上に作製したプトロン層のフォトリフラクティブ効果に対するアニールの影響
- ニオブ酸リチウム結晶上に形成したプロトン交換導波路の光損傷特性
- FBGを使用したボロメータ(光集積回路/素子, スイッチング, PLC, ファイバ型デバイス, 導波路解析, 一般)
- FBGを使用したボロメータ(光集積回路/素子, スイッチング, PLC, ファイバ型デバイス, 導波路解析, 一般)
- 光同期によるTDMA方式のディジタル発光型心電計
- 光同期によるTDMA方式のディジタル発光型心電計(次世代伝送用光ファイバ,機能性光ファイバ,フォトニック結晶ファイバ,ファイバ非線形現象,一般)
- 光同期によるTDMA方式のディジタル発光型心電計(次世代伝送用光ファイバ,機能性光ファイバ,フォトニック結晶ファイバ,ファイバ非線形現象,一般)
- B-13-34 光振動センサによる水粒子測定(B-13. 光ファイバ応用技術)
- フィルタモデルによるラマン効果を考慮した光ファイバソリトン伝搬時間解析
- B-13-13 ゼロ分散における光ソリトンの数値解析(B-13. 光ファイバ応用技術)
- B-13-12 フィルタモデルによるラマン効果を考慮した光ファイバソリトン伝播時間域解析(B-13. 光ファイバ応用技術)
- B-13-7 ゼロ分散における光ソリトンの数値解析
- B-13-18 ゼロ分散波長における光ソリトンの数値解析
- B-13-1 逆ラプラス解析を用いた光ファイバのラマン係数の時間領域解析の一検討
- ラマン・高次分散・高次非線形効果をふくむ光ファイバソリトン伝搬の数値解析
- B-13-10 光ファイバ・ソリトンの誘導ラマン効果と分散補償
- B-13-21 ディジタル発光型心電計
- ディジタル発光型心電計
- ディジタル発光型心電計
- ディジタル発光型心電計
- ディジタル発光型心電計
- 光応用センサによる電圧、電流、電力の計測
- 光透過型落下粒子形状測定
- 光センサによる水滴の形状及び散乱特性測定
- 位相共役を用いたソリトン伝送
- 光ヘテロダインレーザ顕微鏡
- B-13-36 FBG温度センサの小型化及び低コスト化(B-13. 光ファイバ応用技術)
- 全光電子型ディジタル積算電力計(アクセス及びアクセス用光部品,光通信,光計測,光ファイバ応用,オペレーション/保守監視,一般)
- B-13-27 水晶を用いた電圧、電流、電力の同時計測における旋光性および温度依存性の検討
- 水晶を用いた電圧、電流、電力の同時計測
- TEOS低温プラズマCVDによる石英PLCカプラの開発
- TEOS低温プラズマCVDによる石英PLCカプラの開発