光ヘテロダインレーザ顕微鏡
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概要
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光ヘテロダインレーザ顕微鏡では、光検出器の検出面における信号光と参照光による差周波数成分の位相分布の平均化作用により、信号光と参照光との等位相面が一致したときに最大の差周波数成分の出力が得られる。信号光または参照光を空間的に走査することにより三次元的な画像信号を得ることができる。三次元分解能を有しているという極めて応用価値の高い顕微鏡であり、最先端のデバイス開発や工業用、医療用など様々な分野に必要不可欠と考えられる。本報告では、光ヘテロダイン検波を用いたレーザ顕微鏡での結像とマイコンによる再生画像表示について述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-11-14
著者
-
小林 義和
日本大学工学部
-
佐藤 家郷
明星電気株式会社
-
小林 義和
日本大学理工学部土木工学科
-
藤井 陽一
日本大学理工学部電子工学科
-
藤井 陽一
日本大学理学部
-
藤井 陽一
東大生産研
-
Fujii Yoshikazu
Department Of Engineering Science Kyoto University
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