LiTaO_3とLiNbO_3のの第2漏洩弾性表面波を用いた1.9GHz帯SAWデバイス

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概要

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近年、自動車・携帯電話など、通信の高周波数化にともない、GHz帯で使用が可能な弾性表面波デバイス(以下、SAWデバイス)へのニーズが高まっている。SAWデバイスの高周波数化へのアプローチとしては、電極加工の微細化、高音速材料の開発、高音速モード・高次モードの利用などが考えられている。これらのうち、我々は、最近、清水等により LiTaO_3 (以下、LT)及び LiNbO_3 (以下、LN)基板上に発見された従来の漏洩弾性表面波よりもさらに高音速を持つモードである第2漏洩弾性表面波 1),2) に注目し、LiTaO_3及ぴLiNbO_3基板上での励振を確認 3) し、さらに、同モードを用いた1.9GHz帯SAWフィルタを試作した 4)5)。今回は実測データによって、補正を施したシミュレーションを利用することにより、さらに高特性化した1.9GHz帯ラダー型共振器フィルタを設計・試作したことを報告する。
社団法人電子情報通信学会の論文
1997-03-06

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