SAW速度から決定したLiTaO_3の弾性定数と圧電定数
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概要
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本報告では、LiTaO_3の弾性表面波速度から弾性定数と圧電定数を決定する方法として、電気的結合を加えた測定方法について検討した。測定用SAWデバイスとして10種類のカットに対して表面が電気的に開放と短絡の両方について、弾性表面波の速度を従来の方法よりも精密に測定した。また、この結果から弾性定数、圧電定数を数値計算より求め、その理論値が実験値とよく一致することを確認した。さらに各材料定数の温度係数を求め、これまでの値、および実験値と比較してこの値が有効であることを示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-09-22
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