田中 直樹 | 三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所

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概要

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関連著者

• 柴田 賢一

  三洋電機(株)研究開発本部アドバンストエナジー研究所

• 田中 直樹

  三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所

• 岡野 寛

  三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所

• 柴田 賢一

  三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所

• 柴田 賢一

  三洋電機株式会社・機能材料研究所

• 小林 泰三

  三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所

• 臼杵 辰朗

  三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所

• 清水 康敬

  東京工業大学大学院社会理工学研究科

• 清水 康敬

  東京工業大学

• 馬場 庸子

  三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所

• 松井 邦行

  三洋電機株式会社ニューマテリアル研究所

• 竹内 孝介

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• 中野 昭一

  三洋電機株式会社・機能材料研究所

• 中野 昭一

  三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所

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著作論文

• LiTaO_3とLiNbO_3のの第2漏洩弾性表面波を用いた1.9GHz帯SAWデバイス
• OC4 LiTiO_3上の第2漏洩弾性表面波を用いた1.9GHz帯SAWデバイス(超音波デバイス)
• PB-13 AlN薄膜を用いた高周波SAWデバイス(P.ポスターセッションB-概要講演・展示)
• PC21 ECRイオンビームスパッタ法によるAIN薄膜の作製とGHz帯SAWデバイスの応用(ポスタセッションC-概要講演・展示)

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