PC21 ECRイオンビームスパッタ法によるAIN薄膜の作製とGHz帯SAWデバイスの応用(ポスタセッションC-概要講演・展示)
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概要
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 1993-12-07
著者
-
柴田 賢一
三洋電機(株)研究開発本部アドバンストエナジー研究所
-
田中 直樹
三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所
-
岡野 寛
三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所
-
柴田 賢一
三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所
-
中野 昭一
三洋電機株式会社・機能材料研究所
-
中野 昭一
三洋電機株式会社 ニューマテリアル研究所
-
柴田 賢一
三洋電機株式会社・機能材料研究所
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