水晶onシリコン(QOS)ワンチップ発振器
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概要
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移動体通信機器の小型化に伴い、発振通話やフィルタ等、高周波部品の小型化が求められている。我々は、超小型の水晶デバイスを実現する新たな手法として、水晶とシリコン基板を接着剤などを用いずに接合できるQOS(Quartz Crystal on Silicon)技術を開発した。この技術は、基板表面の水酸基の分子間力により水晶とシリコンを接合するもので、さらに熱処理を加えることで、原子レベルでの強固な接合が得られる。この技術を用いたQOS振動子を作製し、保持構造を小型にできることを確認した。さらに、発振回路を形成したシリコンを保持基板に用いることで、回路を一体化でき、より小型の水晶デバイスを実現できる。今回は、このQOS技術を用いて発振回路と水晶振動子を一体化したワンチップ発振器を作製し、評価を行ったので報告する。
- 1995-03-27
著者
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冨田 佳宏
松下電器産業(株)中央研究所
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富田 佳宏
松下電器産業株式会社デバイス・エンジニアリング開発センター
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冨田 佳宏
松下電器産業株式会社
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南波 昭彦
松下電器産業株式会社デバイス・エンジニアリング開発センター
-
小掠 哲義
松下電器産業株式会社デバイス・エンジニアリング開発センター
-
田口 豊
松下電器産業株式会社デバイス・エンジニアリング開発センター
-
江田 和生
松下電器産業(株)材料デバイス研究所
-
小椋 哲義
松下電器産業(株)材料デバイス研究所
-
田口 豊
松下電器産業 デバイス・エンジニアリング開セ
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田口 豊
松下電器産業株式会社デバイスエンジニアリング開発センター
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江田 和生
松下電器産業株式会社デバイス・エンジニアリング開発センター
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江田 和生
松下電器産業(株)デバイス・エンジニアリング開発センター
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冨田 佳宏
松下電器産業
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小椋 哲義
松下電器産業(株)
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