水晶onシリコン(QOS)水晶振動子の振動モード : X線トポグラフとモード解析

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概要

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水晶振動子はその高安定性を特徴とし通信機器等に広く用いられているが、近年の機器の小型化・高精度化に伴い、小型水晶振動子の保持・形状に関する振動解析が求められている。従来、振動子の解析には、Mindlin等の提唱する方程式が用いられてきたが、実際には振動子の保持部等の影響により解析解とは異なることも多く身受けられた。特に、保持部の導電性接着剤の解析は困難であり、ひいては水晶振動子の不良の原因となっている。また、実際の振動モードの観察方法としては、X線トグラフや表面電荷分布測定を利用した方法があり、また保持による影響を検討するためにレーザー光を利用した手法も提案され、水晶振動子の特性把握の手法として利用されている。本報告においては、保持部に導電性接着剤を使用しない直接接合を利用したQOS型水晶振動子の振動モードを解析しX線トポグラフで観察し評価した結果を報告する。
社団法人電子情報通信学会の論文
1995-03-27

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