半導体ナノ構造の作製技術と量子化デバイスへの展開 (<特集> ミクロを創る 2.半導体-3)
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概要
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半導体ナノテクノロジーの進展に伴い,量子細線や量子箱などのナノ構造が現実のものとなりつつある.本稿ではこのような半導体ナノ構造の作製技術について述べると共に,ナノ構造を有するデバイスの可能性をレーザを中心にして論じる.既に我々は,幅7nmの量子細線および幅12nmの量子箱の実現をMOCVD結晶成長技術で成功している.また,電子と光子の両方を量子ナノ構造と光微小共振器に閉じ込めその相互作用を制御するという究極の目標への第一歩として,微小共振器型量子細線構造も実現した.これらの成果も交えながらナノ構造の作製技術と量子化デバイスへの展開について考える.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-11-25
著者
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