マイクロマシニング技術を用いたマイクロ波・ミリ波パッケージ技術(マイクロマシニングによるSoP技術はミリ波無線通信ブレークの要となるか)
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概要
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インターネットの普及に伴い,無線,有線共に広帯域化への要望が高まっており,次世代の周波数資源として準ミリ波,ミリ波が期待されているが,コストや性能面の課題がありなかなか普及していない.この壁を打ち破る技術としてRF-MEMS技術に期待が集まっている.MEMSの中でもバルクマイクロマシニングと呼ばれる加工技術と,RF実装技術によるミリ波帯無線システムのパッケージ化について,開発事例を元にその可能性と将来展望について解説する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-01-01
著者
-
高橋 和晃
松下電器産業株式会社
-
小倉 洋
松下電器産業(株)
-
高橋 和晃
松下電器産業株式会社ブロードバンドコミュニケーション開発センター
-
高橋 和晃
松下電器産業(株)ネットワーク開発センター
-
小倉 洋
松下電器産業株式会社pss社
-
小倉 洋
松下電器産業
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