3次元形状不純物統合化プロセスシミュレータ
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概要
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3次元形状不純物統合化プロセスシミュレータ3D-MIPSを開発した。3DMIPSは、デポジション,エッチング,光リソグラフィ,BPSGフローの3次元形状シミュレーション部を持ち,それは連続した数十のLSI製造工程を計算することができる。又、拡散と偏折を統一的に扱った新拡散モデルとイオン注入,酸化のモデルを組み込んでいる。シミュレーション例として、新拡散モデルの評価、LOCOS+NMOSトランジスタ構造とクォータミクロンピッチDRAMセル構造の計算結果を報告し、新拡散モデルの有効性と3次元の複雑な構造に対しても安定して解けることを示す。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-13
著者
-
内田 哲也
(株)半導体先端テクノロジーズ第二研究部
-
坪内 夏朗
三菱電機
-
内田 哲也
三菱電機(株)
-
藤永 正人
(株)半導体先端テクノロジーズ第二研究部
-
藤永 正人
三菱電機(株)ULSI開発研究所
-
小谷 教彦
三菱電機(株)ULSI開発研究所
-
國清 辰也
三菱電機
-
加門 和也
三菱電機
-
小谷 教彦
三菱電機ULSI開発研究所
-
坪内 夏朗
三菱電機ULSI開発研究所
-
坪内 夏朗
三菱電機 Ulsi開研
-
坪内 夏朗
三菱電機株式会社lsi研究所
-
小谷 教彦
三菱電機 Ulsi技開セ
-
小谷 教彦
三菱電機株式会社ulsi開発
-
内田 哲也
三菱電機ulsi開発研究所
-
藤永 正人
三菱電機(株)
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