応力依存の粘性係数を考慮した粘弾性酸化シミュレーションの安定解法

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概要

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粘弾性モデルに基づく酸化シミュレーションで正しい応力値を得るには,酸化膜の粘性係数に応力依存性を考慮しなければならない。しかし,これまでの酸化シミュレータでは不安定性が問題になり,粘性係数の応力依存性を考慮することが困難であった。そのため,平らなシリコンを酸化した際の真性応力の発生や,低温で形成した高密度の酸化膜のアニールによる膨張などの,粘弾性モデルの根拠となった基礎的な現象を再現することができなかった。今回,不安定性の問題を粘弾性解法に接線係数法を用いることで解決し,これらの現象を再現できる酸化シミュレータを作成した。今回作成したシミュレータは,これらの現象を含んだより現実に近い酸化シミュレーションを可能にする。
社団法人電子情報通信学会の論文
1994-09-13

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