蓄積拡散長を用いた高速三次元不純物分布シミュレーション

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概要

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• 高速三次元不純物分布シミュレータSPIRIT-III, ADLを開発した。高速計算を実現するために,蓄積拡散長と呼ぶ新しい物理量を用いて,三次元不純物分布を解析的に計算する,新しい手法を考案した。今回導出した解析式では,一次元プロセスシミュレータにより計算された一次元深さ方向不純物分布と,三次元蓄積拡散長分布より,三次元不純物分布が計算される。SPIRIT-III/ADLによる三次元不純物分布の計算時間は,メインフレーム上,85,800メッシュで,252秒である。本結果から,SPIRIT-III/ADLにより,現実的な時間内での三次元不純物分布計算が可能となることが分かる。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1994-09-13

著者

• 松尾 仁司

  日立製作所中央研究所

• 井原 茂男

  日立製作所中央研究所

• 蒲原 史朗

  日立製作所中央研究所

• 蒲原 史朗

  (株)日立製作所半導体事業部

• 菅谷 正弘

  (株)日立製作所半導体事業部

• 菅谷 正弘

  日立製作所中央研究所

• 井原 茂男

  (株)日立製作所中央研究所

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