プロセス・デバイス統合シミュレーションシステム : VFLの開発とデバイス設計への適用
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概要
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プロセス・デバイスシミュレータを統合したTCADシステムの実用化の課題として,シミュレータの高速化及び高精度化の他に,ユーザの操作性向上を目的としたユーザフレンドリなGraphic User Interface(GUI)の提供が挙げられる。今回我々はこれらの課題を克服した三次元プロセス・デバイス統合シミュレーションシステムVirtual Fabrication Line(VFL)を開発した。VFLでは,ユーザが,三次元プロセスシミュレータSPIRITおよび三次元デバイスシミュレータCADDETHを,GUIシステムにより,マウスを用い,インタラクティブに操作する。本報告では,VFLシステムの概要及びデバイス設計への適用例を発表する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
著者
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蒲原 史朗
(株)日立製作所半導体グループ
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蒲原 史朗
(株)日立製作所半導体事業部
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宮下 孝幸
日立超LSIエンジニアリング(株)
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河上 恵
日立超LSIエンジニアリング(株)
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菅谷 正弘
(株)日立製作所半導体事業部
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菅谷 正弘
日立製作所中央研究所
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