Hydrodynamic方程式を用いた高速イオン打ち込みシミュレーション方法の提案
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概要
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本報告では,Hydrodynamic方程式を用いた多層膜複雑形状に適用でき,且つ高速計算が可能な新しいイオン打ち込みシミュレーション方法を提案する。Hydrodynamic方程式を導出するために,Fokker-Planck型の衝突項を有するボルツマン方程式を導入し,モーメント展開を用いた。更にブリンクマンの方法を用いてHydrodynamic方程式の一般形である実空間回帰方程式を導出した。本Hydrodynamic方程式を用いた場合,従来方法と比較し,CPU時間は約1/100となることを確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-13
著者
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蒲原 史朗
(株)日立製作所半導体グループ
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蒲原 史朗
(株)日立製作所半導体事業部
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河上 恵
日立超LSIエンジニアリング(株)
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菅谷 正弘
(株)日立製作所半導体事業部
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河上 恵
(株)日立製作所半導体事業部半導体開発センタ
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菅谷 正弘
日立製作所中央研究所
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