超高周波平面超音波による精密機械系の移動特性評価
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概要
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超高周波平面超音波を用いて、反射波の位相の測定から精密機械系の移動特性を評価する方法を提案する。本方法を直線集束ビーム(LFB)超音波顕微鏡システムのzステージの移動特性評価に適用した。LFB超音波顕微鏡においてzステージの移動誤差は、漏洩弾性表面波(LSAW)速度の測定精度に大きく影響する。zステージの移動誤差がLSAW速度の測定精度に与える影響について、理論的および実験的に検討した。225MHzの超音波を用いて、zステージの位置決め精度および真直度の評価をおこない、測定した移動特性を用いてzステージの移動誤差を補正した。これより、LSAW速度の測定における誤差要因の1つであるzステージの移動誤差を除去できた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-09-21
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