直線集束ビーム超音波顕微鏡による光デバイス作製プロセスの評価 : プロトン交換プロセスへの適用
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概要
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導波路型光デバイスには、プロトン交換法やTi拡散法などにより導波路が形成されている。導波路の物理特性および品質は作製プロセスの条件に依存すると考えられ、デバイス作製プロセスを定量的に評価する技術の開発が求められている。直線集束ビーム(Line-Focus-Beam:LFB)超音波顕微鏡は、水/試料境界面上に漏洩弾性表面波(Leaky Surface Acoustic Wave:LSAW)を励振・伝搬させ、その位相速度・伝搬減衰の測定から材料の弾性的特性を定量的に解析・評価するシステムである。筆者らは、本測定システムによる弾性表面波デバイス材料や光エレクトロニクス材料の評価の有用性を示してきた。本報では、本測定システムを光デバイス作製プロセスの評価に適用する。光導波路の作製プロセスの一つであるプロトン交換法を取り上げ、そのプロセス評価法に関して基礎的な検討を行なう。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
著者
-
中鉢 憲賢
東北学院大学工学部
-
中鉢 憲賢
東北大学工学部
-
櫛引 淳一
東北大学工学部
-
小野 雄
東北大学工学部電気工学科
-
小野 雄
東北大学大学院工学研究科
-
宮下 雅仁
東北大学大学院工学研究科
-
宮下 雅仁
東北大学工学部電気工学科
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