方向性点集束ビーム超音波顕微鏡システム
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概要
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本論文では、画像計測と定量計測の両機能を兼ね備えた新しい方向性超音波顕微鏡システムを開発し、多結晶材料の画像計測と定量計測に適用した結果について述べている。まずシステムの構成について述べ、続いて試料として平均粒径100μmのMn-Znフェライト多結晶材料を用い、225MHz及び375MHzで行った画像計測とV(z)曲線法による微小grainの異方性測定の結果を示した。画像計測においては漏洩弾性表面波(LSAW)の伝搬方向の違いによる各grainのコントラストの変化が明瞭に描写され、grainごとのV(z)曲線測定によりその画像のコントラストを定量的に説明している。また、代表的な幾つかのgrainについてLSAW速度の伝搬方向依存性を測定し、その結晶面の違いを定量的に評価している。更に、V(x,z)モードによりLSAW速度のライン分布を測定し、本システムの有用性を示した。
- 社団法人日本音響学会の論文
- 1995-03-01
著者
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