直線集束ビーム超音波顕微鏡によるプロトン交換LiNbO_3、LITaO_3光導波路とその作製プロセスの評価
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概要
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本報では、直線集束ビーム(LFB)超音波顕微鏡をプロトン交換光導波路とその制作プロセスの解析・評価に適用する。Z-cutMgO(5mol%):LiNbO_3、Z-cutLiTaO_3基板をプロトン交換し、深さがそれぞれ約0.5μm、約2μmの光導波路を形成した試料を測定に用いた。超音波周波数225MHzで漏洩弾性表面波(LSAW)速度の伝搬方向依存性を測定した結果、プロトン交換により全伝搬方向でLSAW速度は低下した。LSAW速度変化は、Y軸方向伝搬で最大であり、MgO:LiNbO_3で約57m, sである。また、LSAW速度は、超音波周波数が高くなるほど低下し、層状構造を反映した分散性を示した。この結果、LFB超音波顕微鏡による光導波路とデバイス作製プロセスの評価の可能性を示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-22
著者
-
中鉢 憲賢
東北学院大学工学部
-
中鉢 憲賢
東北大学工学部
-
櫛引 淳一
東北大学工学部
-
小野 雄
東北大学工学部電気工学科
-
小野 雄
東北大学大学院工学研究科
-
宮下 雅仁
東北大学大学院工学研究科
-
宮下 雅仁
東北大学工学部電気工学科
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