超高周波平面超音波による精密移動機械の特性評価法と直線集束ビーム超音波顕微鏡への適用
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概要
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本論文では,VHF・UHF帯の超高周波平面超音波を利用した,精密移動機械の特性評価法を提案する.本手法は,移動機械に設置した反射体に水を介して超音波を照射し,その反射波の位相情報から移動特性を評価するものである.本手法による移動誤差の測定の分解能は超音波周波数225MHzにおいて4nmであり,高周波化により更に高分解能が期待できる.また,本手法を直線集束ビーム(LFB)超音波顕微鏡のzステージの移動特性評価に適用した.LFB超音波顕微鏡においてzステージの移動誤差は漏えい弾性表面波(LSAW)速度の測定精度に大きく影響する.zステージの移動誤差とLSAW速度の測定誤差の関係について測定原理に基づいて検討を行い,zステージの位置決め,および真直度の誤差がLSAW速度の測定値に与える影響を実験的に確認した.更に,測定した移動特性を用いてzステージの移動誤差を補正することにより,LSAW速度の測定における移動誤差の影響を除去することができた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-03-25
著者
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