直線集束ビーム超音波顕微鏡による光用MgO : LiNbO_3単結晶基板の弾性的特性の定量評価
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概要
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本報では、MgOドープ量を1mol%おきに0〜9mol%まで変化させて育成したMgO:LiNbO_3単結晶から得られたZ-cut基板に対して、直線集束ビーム(LFB)超音波顕微鏡により漏洩弾性表面波(LSAW)速度の測定・解析を行い、MgOがLSAW速度に及ぼす影響を詳細に検討した。LSAW速度はMgO濃度の増加に対して単調に増大し、5mol%以上で飽和する傾向を示している。LSAW速度と化学組成、格子定数、密度およびキュリー温度との対応関係を調べた結果、LSAW速度の変化の本質的原因は化学組成比の変化にあることが分かった。また、LFB超音波顕微鏡が非常に高い速度測定分解能を有することから、光用LiNbO_3の新しい材料評価技術として有用であることを示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-22
著者
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