直線集束ビーム超音波顕微鏡による回転Y板 LiNbO_3、LiTaO_3 の評価法
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概要
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本報では、水が負荷されたときの36°Y-cut LiTaO_36°Y-cutLiTaO_3を伝搬する漏洩弾性波の伝搬特性を理論的・実験的に検討し、直線集束ビーム(LFB)超音波顕微鏡を用いて評価を行うのに適する伝搬方向を検討した。その結果を踏まえてX軸方向を伝搬方向として、議論を回転Y板全体に対して拡張し、漏洩弾性波の伝搬特性を明らかにした。水の負荷にともない、圧電の効果が強い漏洩擬似弾性表面波は位相速度が大きく減少するが、励振効率が低く水中への漏洩は非常に小さい。そのため、LFB超音波顕微鏡により材料の評価を行うには水中への漏洩が適度にあるレイリータイプの漏洩弾性表面波モードを使用しなければならない。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-22
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