バルク超音波パルス干渉法による非圧電立方晶単結晶の弾性定数の決定
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概要
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直線集束ビーム超音波顕微鏡システムの校正においては、弾性定数・密度を精密に測定した標準試料を用いる必要がある。このため、筆者らはバルク超音波パルス干渉法により等方性固体の弾性定数を高精度で決定する方法を開発してきた。超高周波帯における標準試料としては、弾性的性質が均一である、伝搬減衰が小さいなどの点において単結晶のほうがより望ましい。本報では、弾性定数決定法の測定対象を異方性固体に拡張した。非圧電立方晶単結晶に対して、[100]、[110]、[111]伝搬の縦波と横波の音速を測定する場合に弾性定数を精度良く決定する方法を明らかにした。さらに、その結果に基づき、試料としてGadolinium Gallium Garnet、Si、Geを取り上げ弾性定数を決定し、文献値との比較・検討を行なった。
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-22
著者
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